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設備簡介

DLC類金剛石涂層設備是我公司自主研發(fā)生產(chǎn)的專門用于沉積高性能DLC類金剛石膜層設備，可選用磁控濺射、離子源、燈絲、偏壓等多種鍍膜技術(shù)，結(jié)合智能擋板和可移動式工件轉(zhuǎn)架，可快速沉積硬度高、低摩擦系數(shù)的類金剛石（a-C:H）涂層。廣泛應用于航空航天、汽車工業(yè)、切削刀具、模具及有低摩擦系數(shù)要求的零部件。

設備特點

• 高能量等離子體清洗，提高涂層結(jié)合力       
• 電磁場交互作用離化氣體
• 磁控濺射靶材利用率高
• 涂層光滑，不存在大顆粒污染
• 制備含氫DLC涂層
• 工藝程序高度重復運行
• 穩(wěn)定的控制系統(tǒng)，使操作更輕松
• 遠程智能操控和診斷功能

設備參數(shù)

涂層參數(shù)